- Статья поступила: 30.09.2024 г.
- С доработки: 27.10.2024 г.
- Принята к публикации: 30.10.2024 г.
- DOI 10.26902/JSC_id140143
- EDN: CUAVLE
- Просмотров: 233
©
Винник Д.А.
1,2,3, Ковалев А.И.
1 , Шерстюк Д.П.
1, Живулин Д.Е.
1, Зирник Г.М.
2, Батманова Т.В.
4
1 Южно-Уральский государственный университет, Челябинск, Россия
2 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Россия
3 Санкт-Петербургский государственный университет, Россия
4 Челябинский государственный университет, Россия
Представлен результат твердофазного синтеза полупроводникового оксида InGaZn2O5, проведены фазовый, структурный и морфологический анализы. Для исследования использованы методы рентгеновской дифракции, полнопрофильного анализа дифрактограмм, сканирующей электронной микроскопии, а также энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, инфракрасной спектроскопии и рамановской спектроскопии. Показано, что изученный состав соответствует структуре InGaZn2O5 с пространственной группой P63/mmc, приведены структурные параметры. Морфология образца, полученного в описанных условиях, характеризуется полидисперсностью, агломератами, отсутствием выраженной огранки кристаллитов. Впервые приведены инфракрасные и рамановские спектры состава InGaZn2O5.
Ключевые слова: IGZO, оксид индия–галия–цинка, твердофазный синтез, SEM, EDX, XRD, ИК спектроскопия, рамановская спектроскопия