- Статья поступила: 06.09.2024 г.
- С доработки: 28.02.2025 г.
- Принята к публикации: 01.04.2025 г.
- DOI 10.26902/JSC_id147712
- EDN: RZCGFH
- Просмотров: 117
©
Живулин Д.Е.
1, Солизода И.A.
2,3,4, Зирник Г.М.
4, Учаев Д.А
1, Чернуха А.С.
2,4, Гудкова С.А.
2,4, Винник Д.А.
1,2,4
1 Южно-Уральский государственный университет, Челябинск, Россия
2 Институт химии, Санкт-Петербургский государственный университет, Россия
3 Таджикский национальный университет, Душанбе, Таджикистан
4 Лаборатория полупроводниковых оксидных материалов, Московский физико-технический институт «МФТИ (НИУ)», Долгопрудный, Россия
Представлены результаты исследования образцов InGaO3(ZnO)x (x = 4,
5), полученных методом горения нитратно-гликолевого геля. Изучено влияние
термической обработки в интервале 300–1100 °C на фазовый состав и морфологию поверхности.
Установлено, что в процессе синтеза могут быть получены агломераты наночастиц,
которые являются твердыми растворами оксидов Ga и In в ZnО со структурой
вюрцита. Термическая обработка синтезированных
образцов приводит к спеканию наночастиц и образованию макрочастиц
размером около 1 мкм.
Ключевые слова: оксид индия–галлия–цинка, IGZO, золь-гель метод, наночастицы, фазообразование