Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия высоких энергий как неразрушающий метод исследования скрытых межфазовых границ
- Статья поступила: 30.09.2010 г.
- УДК 538.975
- Просмотров: 301
Санкт-Петербургский государственный университет, Россия
В статье продемонстрирована возможность использования метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий как неразрушающего метода послойного фазового химического анализа твердых тел. Проанализированы теоретические предпосылки и оптимальные экспериментальные условия проведения послойного анализа. Изучены межфазовые границы в пленках HfO2 толщиной 5 нм, синтезированных методами молекулярного наслаивания и осаждения металлорганических соединений из газообразной фазы. Показана возможность определения толщины слоев, входящих в состав многослойных структур, на основе измеренных интенсивностей фотоэлектронных пиков.
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, тонкие пленки, межфазовая граница
|
Импакт-фактор 2023 1.2 |
||||
|
Срок опубликования 4 мес |
||||
Уважаемые авторы и подписчики “Журнала структурной химии”,
в свободном доступе
архив ЖСХ до 2020 года ("Номера").
Спецвыпуски
Самое интересное
Статьи, к которым чаще всего обращаются посетители
Рубрики