Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия высоких энергий как неразрушающий метод исследования скрытых межфазовых границ
- Статья поступила: 30.09.2010 г.
- УДК 538.975
- Просмотров: 335
Санкт-Петербургский государственный университет, Россия
В статье продемонстрирована возможность использования метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий как неразрушающего метода послойного фазового химического анализа твердых тел. Проанализированы теоретические предпосылки и оптимальные экспериментальные условия проведения послойного анализа. Изучены межфазовые границы в пленках HfO2 толщиной 5 нм, синтезированных методами молекулярного наслаивания и осаждения металлорганических соединений из газообразной фазы. Показана возможность определения толщины слоев, входящих в состав многослойных структур, на основе измеренных интенсивностей фотоэлектронных пиков.
Ключевые слова: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, тонкие пленки, межфазовая граница
|
Импакт-фактор 2024 1.4 |
||||
|
Срок опубликования 4 мес |
||||
|
XII Национальная кристаллохимическая конференция Апатиты, 4–12 июля 2026 г. |
|
100-лет со дня рождения
Началась публикация |
Уважаемые авторы и подписчики “Журнала структурной химии”,
в свободном доступе
архив ЖСХ до 2022 года ("Номера").
Спецвыпуски
Самое интересное
Статьи, к которым чаще всего обращаются посетители
Рубрики