Анализ элементного состава тонких слоев карбонитрида кремния методом ЭДС
- Статья поступила: 05.11.2009 г.
- С доработки: 15.04.2010 г.
- УДК 547.245:541.64
- Просмотров: 177
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
Рассматриваются особенности анализа элементного состава тонких пленок карбонитрида кремния методом энергодисперсионной спектроскопии (ЭДС). Пленки предварительно исследовали методами ИК спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), растровой электронной (РЭМ) и атомно-силовой микроскопии (АСМ), рентгенодифракционным анализом с использованием синхротронного излучения (РФА—СИ) с целью получения данных об их химическом и фазовом составе, кристаллической структуре и морфологии поверхности. Изучено влияние толщины пленок, материала подложек и энергии электронного пучка на результаты энергодисперсионного анализа.
Ключевые слова: карбонитрид кремния, тонкие пленки, нанокристаллы, структура, элементный состав, энергодисперсионная спектроскопия
|
Импакт-фактор 2023 1.2 |
||||
|
Срок опубликования 4 мес |
||||
Уважаемые авторы и подписчики “Журнала структурной химии”,
в свободном доступе
архив ЖСХ до 2020 года ("Номера").
Спецвыпуски
Самое интересное
Статьи, к которым чаще всего обращаются посетители
Рубрики