В.В. Крисюк, Д. Самелор, А.Е. Тургамбаева, Ж. Эсван, И.В. Корольков, Е.А. Максимовский, С.В. Трубин, Ю.В. Шевцов, К. Валас
Контроль состава и структуры многокомпонентных пленок
на основе диоксида циркония, полученных химическим осаждением из газовой фазы с помощью новых смешанных металлоорганических прекурсоров
Ключевые слова:
β-дикетонаты металлов, термические свойства, смешанные металлоорганические прекурсоры, пленки на основе диоксида циркония, многокомпонентные пленки, MOCVD