Н.И. Файнер, Р.В. Пушкарёв, С.Б. Эренбург, С.В. Трубина, В.А. Шестаков, И.С. Меренков, M. Terauchi
Физико-химические свойства и строение пленок SiCxNy:Fe,
выращенных из газовой смеси ферроцена, водорода
и 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана
Ключевые слова:
нанокомпозитные пленки, термодинамическое моделирование, метод CVD, 1, 1, 3, 3, 5, 5-гексаметилциклотрисилазан, ферроцен, спектроскопия КРС, ВРПЭМ, EXAFS