В.В. Крисюк,																	С. Уркасым кызы,																	И.А. Байдина,																	Г.В. Романенко,																	И.В. Корольков,																	Т.П. Корецкая,																	Н.И. Петрова,																	А.Е. Тургамбаева									
			 
			
				
					Структура и термические свойства
гетерометаллических комплексов для газофазного осаждения Cu—Pd пленок				
			 
			
			
				
					Ключевые слова:
																						медь,																	 палладий,																	 β-дикетонаты,																	 кристаллическая структура,																	 летучий гетерометаллический комплекс,																	 термические свойства,																	 биметаллические пленки,																	 MOCVD прекурсор