В.В. Крисюк, С. Уркасым кызы, И.А. Байдина, Г.В. Романенко, И.В. Корольков, Т.П. Корецкая, Н.И. Петрова, А.Е. Тургамбаева
Структура и термические свойства
гетерометаллических комплексов для газофазного осаждения Cu—Pd пленок
Ключевые слова:
медь, палладий, β-дикетонаты, кристаллическая структура, летучий гетерометаллический комплекс, термические свойства, биметаллические пленки, MOCVD прекурсор