Н.И. Файнер, В.И. Косяков, Ю.М. Румянцев, Е.А. Максимовский, С.А. Прохорова , П.Н. Гевко
Состав и структура слоев карбонитрида кремния, выращенных на подложках Si(100)/(Fe, Ni, Co)
Ключевые слова:
карбонитрид кремния, структура, тонкие пленки, формы кристаллов, подложки Si(100), сплав Fe–Ni–Co, ИК спектроскопия, КР спектроскопия, АСМ, РЭМ, РФА – СИ