Ю.В. Федосеева, Д.В. Городецкий, А.А. Макарова, И.Б. Юдин, Н.И. Тимошенко, М.Ю. Плотников, А.А. Емельянов, А.К. Ребров, А.В. Окотруб
Влияние температуры молибденовых подложек на
строение алмазных покрытий, полученных методом газофазного осаждения из высокоскоростного
потока СВЧ-плазмы
Ключевые слова:
алмазные покрытия, газофазное осаждение, СВЧ-плазма, газоструйный метод, растровая электронная микроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния света, NEXAFS, рентгеноэлектронная спектроскопия