М.Н. Чагин, Е.Н. Ермакова, В.Р. Шаяпов, В.С. Суляева, И.В. Юшина, Е.А. Максимовский, С.П. Дудкина, А.А. Сараев, Е.Ю. Герасимов, К.П. Могильников, А.Н. Колодин, М.Л. Косинова
Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана
Ключевые слова:
аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, ICP CVD, гексаметилдисилан, стабильность пленок, оптические свойства, оптическая эмиссионная спектроскопия