В.С. Суляева, Е.Я. Гатапова, А.К. Кожевников, Д.И. Рогило, А.А. Сараев, И.В. Юшина, М.Н. Хомяков, А.А. Шаповалова, В.Р. Шаяпов, Н. Баскар, Р. Ту, М.Л. Косинова
Химическое строение и функциональные свойства аморфных пленок карбонитрида бора
Ключевые слова:
карбонитрид бора, тонкие пленки, магнетронное распыление, оптические свойства, механические свойства, смачиваемость поверхности.