Н.И. Файнер, А.Г. Плеханов, Р.В. Пушкарёв, В.Р. Шаяпов, Е.А. Максимовский, В.А. Надолинный, Е.В. Коротаев, В.В. Каичев
Синтез магнитных композитных пленок SiCxNyFez
плазмохимическим разложением газовой смеси
1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилазана, ферроцена и гелия
Ключевые слова:
1, 1, 1, 3, 3, 3-гексаметилдисилазан, ферроцен, плазмохимическое осаждение пленок, магнитные свойства композитных пленок SiCxNyFez